光學鍍膜膜料點不良的產生原因及對策

  膜料點不良也是鍍膜產品的一個常見問題，在日企、臺企把膜料點成為"斑孔"；也就是說，膜料點就是蒸鍍中，大顆粒膜料點隨著膜料蒸汽分子一起蒸鍍到了基本的表面，有時是個別點，嚴重時是成片的細點，大顆粒點升至可以打傷基片表面。

  各種膜料的蒸發特性是不一樣的，特別是熔點溫度和蒸發溫度有較大差異              熔點溫度大于蒸發溫度的材料，由固態直接氣化蒸發，是升華材料；                  熔點溫度小于蒸發溫度的材料，由固態先化成液態然后在轉化成氣態蒸發，是非升華料；      熔點溫度與蒸發溫度相同的材料，由固態到氣態蒸發，邊融化邊蒸發，是半升華材料。      其中非升華材料最容易產生膜料點，因為液態的膜料繼續加熱會沸騰，沸騰中膜料的氣泡溢出，飛濺膜料點的可能性加大，有時在材料預熔時就有很大的飛濺。膜料受潮，預熔或者蒸鍍時水溢出，也會造成飛濺產生。

  以下表中是幾種常見膜料的升華特性：

  膜料不純、膜料摻雜，即膜料中有了熔點溫度。蒸發溫度不一致的材料，這也是膜料點產生的原因。

  改善思路：選用好的膜料，充分預熔、控制速率。

  改善策略：

1.選擇雜志少的膜料
2.對易飛濺的膜料選擇顆粒合適的膜料
3.膜料在鍍用前用網篩篩以下
4.精心預熔，MgF2務必熔透一次蒸鍍所需膜料，而Ta2O5和TiO2必須徹底熔透
5.用一把電子槍鍍制幾種膜料時，防治坩堝轉動中膜料及擋板掉下膜料渣渣造成膜料污染，一旦發現坩堝膜料有污染，應立即更換
6.盡最大可能使蒸發舟、坩堝干凈
7.選擇合適的蒸發速率及速率曲線的平滑，特別是非升華材料，蒸發速率不宜高
8.膜料去潮，將待用膜料用培養皿盛放在真空室干燥

注意：有時膜層內有一些細小的點子，有可能不是膜料點，而是灰塵點，處理的方法與膜料點是不同的，應嚴格區分，分別處理